合同包

品目名称

主要技术参数及要求

数量

成交总价（元）

成交人

地址

1

等离子清洗机

Harrick/PDC-002

（一）设备具体配置如下：

（二）具体技术参数

1、主机系统

1.1要求台式设备、功率为低、中、高档可调，符合CE安全标准。

1.2 腔体材质：要求圆柱形派热克斯玻璃舱；

1.3 腔体尺寸：要求长度≥165mm，直径≥152mm；

1.4 腔体容积：≥3升；

1.5 射频功率：13.56MHz，应用最大到30W功率；

1.6 1/8 英寸标准锥管螺纹针型阀控制气流和腔体压力；

1.7 1/8 英寸标准锥管螺纹三通阀便于气体混合，隔离舱体和排气的快速切换；

1.8 档位功率设置：输入功率200W；

1.9 应用射频线圈，产生的等离子功率对应表：

A、低档功率范围：工作功率7.2W；

B、中档功率范围：工作功率10.2W；

C、高档功率范围：工作功率29.6W；

2、真空油泵VRD-4型真空泵，抽气速率：≥4m3/hr

支持各类普通气体的等离子体清洗处理，附带软管、软管箍等连接套件，可抽氮气，氩气，空气等。

3、气体流量混合器PDC-FMG-2

3.1 主要应用于处理气体的精密控制、在等离子清洗过程中气体流混合和真空舱内压力监控；

3.2 两个标准的浮子流量计

3.3 真空压力传感器：热电偶真空计；

3.4 压力表：数字压力表；

3.5 压力范围：1 -1999mTorr；

3.6 气体通路：可同时通2路气体；

3.6.1浮子流量计1：49ml/分钟的最大流量；

3.6.2浮子流量计2：104ml/分钟的最大流量；

4、真空托盘：Vacuum Tray 玻璃材质托盘，调整待处理样品的放置高度，确保处理的等离子浓度与均匀度均达到最佳。

5、原装针型阀三通阀套装；

6、RF测试荧光灯管；

1批

95850

武汉迈可诺科技有限公司

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